Horiba小型工艺气体质谱分析仪 MICROPOLE系统

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概要

微型残余气体分析仪是一种目前市面上最小的质量能谱仪分析系统。通过享有专利的小型化设计将四电极质量过滤器进行排列，从而获得了完美的紧凑尺寸。与传统的质量能谱仪相比，这种排列方式可以提供相近或者更好的灵敏度，但只占传统质量能谱仪的一小部分体积。而且，与传统质量能谱仪相比，本系统可以在更高的压力环境下使用，因此，它可以减少原来需要另外配置的差压泵设备根据可以让用户直接更替传感器的转移标准，我们的传感器已经在工厂进行过预先调谐和校准处理，无需专业的技术性再校准当你使用带有3.5寸LCD显示屏的监测控制器时，不经过电脑进行数据提取也是可行的。升级到八电极系统后，它可以通过RS485或者以太网通讯进行网络控制。

特征

• 极为紧凑的安装尺寸和极轻的重量
  

与传统的残余气体分析仪相比，它只有其1/20的尺寸，这使它非常容易整合到您的系统之中。

• 高性能
  

在只占传统电极一小部分的体积里，微型化的九电极排列提供了优越的灵敏度。

• 高压力条件下可使用
  

可以在高于0.9Pa(7mTorr, 9 x 10-3mbar)的压力条件下使用，在许多需要昂贵真空泵的应用当中，可以简化或者省略泵的使用。

• 已经校准过的可替换传感器接头
  

此传感器接头在出货之前已经进行过预调谐和校准。允许客户自己在现场进行传感器的更换而不需要任何微调或者技术性专家鉴定。

• 网络传感器
  

升级到八电极后，可以通过一台使用RS485接口的电脑进行监测。此系统也可以通过以太网进行远程监测。

• 用户友好软件
  

微电极扫描软件允许用户用各种不同的方式监测气体的部分压力，如趋势曲线图，相似性曲线图，泄露模式，条形统计图，3D等

• 监测控制
  

可选择性的监测控制器可以直接安装在反应室的光谱发生器上，使用户无需电脑就可以监测真空反应室。

■测量原理

残余气体分析仪是由一个离子源，一个质量分光仪和一个监测单元组成。当残余气体与从高温金属丝释放的热电子碰撞后，它将被离子化。并且，这些因此产生的离子会加速会合到质量能谱仪上。在质量能谱仪上内，直流和交流电压被应用到四个圆柱形的电极上（方形排列），从而让离子因质量的不同而被分离开。这些被分开的离子通过法拉第杯作为直流电被发现。这种离子电流是与残余气体的质量成比例的。

　　　　　　　　　　　

                               
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■微电极分析仪

使用微电极的特色是什么呢？系统特有的只是微电极吗？分析仪（MPA），一个包含九个方形电极区的分组，可以提供先进的高精度光信息处理技术和玻璃/金属结合技术。MPA的发展催生出了世界上最小的残余气体分析仪，并且与传统巨大的质量能谱仪相比，提供了相同或者更好的灵敏度。此分析仪是一种插入式部件。它是一个已经被校准过的局部压力传感器，并且可以提供完全和局部的压力测量。

　　　　　　　　　

                               
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