新产品发布：飞托克FP系列超高纯过滤器

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简介：
飞托克 FP 系列超高纯过滤器，过滤精度 0.003 μm。过滤器采用 PTFE 过滤元件，具备优秀的化学兼容性，适用于各种半导体工艺中的气体过滤，如：CVD、PVD，干法刻蚀等。

特征：

• 在最大流速下对 0.003μm 及以上颗粒的过滤效率超过 99.9999999%
• 优秀的化学兼容性
• 100% 氦气泄漏检测
  

技术参数：

材质	过滤元件	PTFE
	骨架	PFA
	壳体	316L SS 或 316L SS 真空重熔
过滤精度		≥ 0.003 μm
过滤效率 (对数下降值)		＞ 99.9999999% (9LRV)
氦气泄漏率		＜ 1×10-9 std cm3/s
推荐工作流量		0~2.1 scfm (0~60 slpm)	0~4.2 scfm (0~120 slpm)	0~17.7 scfm (0~500 slpm)	0~35.3 scfm (0~1000 slpm)
最大工作压力		207 bar (3000 psig)		68.9 bar (1000 psig)
最大正向压差		4 bar (58 psig) @ 23 °C		6 bar (87 psig) @ 23 °C
最大反向压差		0.7 bar (10 psig) @ 23 °C		3 bar (44 psig) @ 23 °C
最大工作温度		-30 ~ 120 °C (-22 ~ 248 °F)

除 FP 系列超高纯过滤器外，飞托克还可提供其他各类隔膜阀（DQ、DP、DH、DM、DS、DR、DV、DL、DF、DE、DK 和 ALD 系列）、真空发生器（VGB、VGM、VGC 系列）、高纯球阀（BGP、BHP、BDP、BRP 系列）、洁净管（TBA、TEP 、PEP 和 TCA 系列）、减压阀（RDGC、RTGC、RDCC、RTCC系列）等，满足半导体制造等行业对流体系统元件的严苛要求。