Extrel CMS 发布新品-VeraSpec APIMS 痕量大气压离子质谱仪

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    The Extrel VeraSpec Atmospheric Pressure Ionization Mass Spectrometer (APIMS) is designed for reliable and repeatable low parts-per-trillion detection limits for contamination control in Ultra-High Purity (UHP) gases used in semiconductor and other high-tech industrial applications.                 Extrel VeraSpec大气压电离质谱仪 （APIMS） 专为半导体和其他高科技工业应用中使用的超高纯度 （UHP） 气体的污染控制而设计，可实现可靠且可重复的万亿分之一低检测限。

• 实时、多种类监测大宗电子气体中的所有关键杂质，包括痕量 O2、H2、H2O、CH4、CO、CO2、NH3、Xe 等
• 成熟、强大的质谱技术
• 无与伦比的测量范围，从PPT到100%，具有独特的双源电离配置
• 易于使用，具有集成的用户界面和预定的自动校准
• 业界最佳的客户支持和应用团队
• 可靠的超纯气体生产和供应
• 可靠的24/7工艺保护
• 一台分析仪分析所有杂质
• 最大化晶圆产能
• 全自动，实时杂质报警功能
  

     Extrel VeraSpec 结合了大气压离子源技术和在工业气体分析领域已被优化使用超过50年的质谱仪技术。确保了APIMS质谱分析仪的卓越性能。
     VeraSpec APIMS不仅分析速度快、灵敏度高，而且操作简单，可用于连续监控氮气、氩气、氦气、氧气和氢气的供应需求。通过对ppt级别杂质的快速响应最大程度保护电子制造工艺。
    拥有Extrel VeraSpec APIMS，保护您的半导体生产超纯气对半导体设备生产非常重要。通过对超纯气纯度的连续监测可以确保半导体设备的最大产能。其被杂质污染后的代价是非常昂贵的。
    半导体工厂需要连续实时监测工艺气的纯度，杂质的检测限至低ppt级别。
    要达到如此低的检测下限，最好的方式就是应用大气压离子质谱仪。在20多年里，APIMS已经被应用在科学研究和检测工业在线微量气体的标准技术。
    基于四极杆技术的Extrel VeraSpec APIMS系统能检测的气体含量和气体组分范围非常宽泛。同时仪器的长期稳定性、重复性是大多数应用所必须要求的。为了追求最优的性能、稳定性和运行时间，在半导体气体分析领域，Extrel 是世界上唯一运用19mm Tri-filter四极滤质器的质谱仪生产商。


操作简单且维护方便
VeraSpec™ APIMS 的创新设计让操作和维护变得简单，最大化运行时间和功效。

Extrel APIMS 技术的优点
VeraSpec APIMS 通过直观的、低维护量的操作让分析变得与众不同。
VeraSpec APIMS 最低检测下限指标:

痕量杂质*	大宗气体
	N2	Ar	He	H2	O2**
Hydrogen (H2)	100  ppt	100  ppt	50  ppt	n/a	500  ppb
Oxygen (O2)	10  ppt	10  ppt	10  ppt	10  ppt	n/a
Methane (CH4)	10  ppt	10  ppt	10  ppt	10  ppt	100  ppb
Water (H2O)	10  ppt	10  ppt	10  ppt	10  ppt	100  ppb
Carbon Monoxide (CO)	50  ppt	10  ppt	10  ppt	50  ppt	100  ppb
Carbon Dioxide (CO2)	5  ppt	5  ppt	5  ppt	5  ppt	100  ppb
Nitrogen (N2)	n/a	200  ppt	10  ppt	150  ppt	100  ppb
Argon (Ar)	200  ppt	n/a	10  ppt	50  ppt	75  ppb

* 如果您需要分析更多的杂质组分，请联系我们。
** 氧中杂质分析需要配置EI源


分析仪规格参数

双离子源	大气压离子(API) /  电子电离(EI)
API源背景	低于1ppt
质量范围选项	1-500  amu（更多范围可供选择）
Tri-Filter 四极杆直径	19  mm
检测器	脉冲计数电子增倍器
信噪比	<  1000000比3
检测下限	<  5 ppt（取决于杂质）
分析时间	每种组分小于1秒
样品切换时间	15分钟低至  <1 ppb
支持的背景气种类	H2, N2, He, Ar, O2
支持的杂质种类	H2, CO, CO2, H2O, O2, CH4, Kr, NH3,  Xe, C2-C6（如果您需要分析更多的杂质组分，请联系我们。）
尺寸	74"  (H) x 28" (W) x 26" (D) (1.9 m x 0.7 m x 0.7 m)
可支持的最大杂质种类	无限制
数字量I/O数	标准配置为16，支持无限数量
模拟量I/O数	标准配置为20，支持无限数量
通讯协议	Modbus,  OPC, 数字量I/O, 模拟量I/O