Extrel CMS 发布新品-VeraSpec APIMS 痕量大气压离子质谱仪
本帖最后由 red 于 2023-1-11 22:01 编辑The Extrel VeraSpec Atmospheric Pressure Ionization Mass Spectrometer (APIMS) is designed for reliable and repeatable low parts-per-trillion detection limits for contamination control in Ultra-High Purity (UHP) gases used in semiconductor and other high-tech industrial applications. Extrel VeraSpec大气压电离质谱仪 （APIMS） 专为半导体和其他高科技工业应用中使用的超高纯度 （UHP） 气体的污染控制而设计，可实现可靠且可重复的万亿分之一低检测限。
[*]实时、多种类监测大宗电子气体中的所有关键杂质，包括痕量 O2、H2、H2O、CH4、CO、CO2、NH3、Xe 等
[*]成熟、强大的质谱技术
[*]无与伦比的测量范围，从PPT到100%，具有独特的双源电离配置
[*]易于使用，具有集成的用户界面和预定的自动校准
[*]业界最佳的客户支持和应用团队
[*]可靠的超纯气体生产和供应
[*]可靠的24/7工艺保护
[*]一台分析仪分析所有杂质
[*]最大化晶圆产能
[*]全自动，实时杂质报警功能
Extrel VeraSpec 结合了大气压离子源技术和在工业气体分析领域已被优化使用超过50年的质谱仪技术。确保了APIMS质谱分析仪的卓越性能。
VeraSpec APIMS不仅分析速度快、灵敏度高，而且操作简单，可用于连续监控氮气、氩气、氦气、氧气和氢气的供应需求。通过对ppt级别杂质的快速响应最大程度保护电子制造工艺。
拥有Extrel VeraSpec APIMS，保护您的半导体生产超纯气对半导体设备生产非常重要。通过对超纯气纯度的连续监测可以确保半导体设备的最大产能。其被杂质污染后的代价是非常昂贵的。
半导体工厂需要连续实时监测工艺气的纯度，杂质的检测限至低ppt级别。
要达到如此低的检测下限，最好的方式就是应用大气压离子质谱仪。在20多年里，APIMS已经被应用在科学研究和检测工业在线微量气体的标准技术。
基于四极杆技术的Extrel VeraSpec APIMS系统能检测的气体含量和气体组分范围非常宽泛。同时仪器的长期稳定性、重复性是大多数应用所必须要求的。为了追求最优的性能、稳定性和运行时间，在半导体气体分析领域，Extrel 是世界上唯一运用19mm Tri-filter四极滤质器的质谱仪生产商。
操作简单且维护方便
VeraSpec™ APIMS 的创新设计让操作和维护变得简单，最大化运行时间和功效。
Extrel APIMS 技术的优点
VeraSpec APIMS 通过直观的、低维护量的操作让分析变得与众不同。
VeraSpec APIMS 最低检测下限指标:
痕量杂质*大宗气体
N2ArHeH2 O2**
Hydrogen (H2) 100ppt100ppt50pptn/a500ppb
Oxygen (O2) 10ppt10ppt10ppt10pptn/a
Methane (CH4) 10ppt10ppt10ppt10ppt100ppb
Water (H2O) 10ppt10ppt10ppt10ppt100ppb
Carbon Monoxide (CO) 50ppt10ppt10ppt50ppt100ppb
Carbon Dioxide (CO2) 5ppt5ppt5ppt5ppt100ppb
Nitrogen (N2) n/a200ppt10ppt150ppt100ppb
Argon (Ar) 200pptn/a10ppt50ppt75ppb
* 如果您需要分析更多的杂质组分，请联系我们。
** 氧中杂质分析需要配置EI源
分析仪规格参数
双离子源 大气压离子(API) /电子电离(EI)
API源背景 低于1ppt
质量范围选项 1-500amu（更多范围可供选择）
Tri-Filter 四极杆直径 19mm
检测器 脉冲计数电子增倍器
信噪比 <1000000比3
检测下限 <5 ppt（取决于杂质）
分析时间 每种组分小于1秒
样品切换时间 15分钟低至<1 ppb
支持的背景气种类 H2, N2, He, Ar, O2
支持的杂质种类 H2, CO, CO2, H2O, O2, CH4, Kr, NH3,Xe, C2-C6（如果您需要分析更多的杂质组分，请联系我们。）
尺寸 74"(H) x 28" (W) x 26" (D) (1.9 m x 0.7 m x 0.7 m)
可支持的最大杂质种类 无限制
数字量I/O数 标准配置为16，支持无限数量
模拟量I/O数 标准配置为20，支持无限数量
通讯协议 Modbus,OPC, 数字量I/O, 模拟量I/O
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